工具顯微鏡一般是通過主顯微鏡瞄準工件影像進行測量的，它以影像法軸切法、接觸法和干涉法按平面直角坐標，極坐標及圓柱坐標精確地測量長度和角度，并可檢驗復雜的幾何形狀，是常用的一種光學計量儀器。工具顯微鏡工作原理是：將測件置于照明系統(tǒng)中，通過帶有正象棱鏡的中央顯微鏡，經物鏡放大，將影像顯于目鏡分劃板上使與目鏡分劃板上的各標記進行瞄準定位，最后借助于縱橫向讀數(shù)系統(tǒng)，確定兩次定位的坐標位置，從而達到測量的目的。

　　工具顯微鏡的使用步驟：

　　1、測量前檢查工具顯微鏡是否處于正常工作狀態(tài)。

　　2、測量方法的選擇：

　　分析測量特點，運用測量原理，選擇測量基準及瞄準方式，根據適當?shù)臏y量條件及測量誤差的分析而確定測量方法，以保證制造出質量合格的零件及產品。測量方法還得講究效益、降低成本。

　　3、測件清洗

　　把測件的基準和被檢的點、棱邊、面、孔、圓弧等上的毛刺、鐵屑及油污清洗干凈。

　　4、測件恒溫

　　測件和工具顯微鏡應同在20℃情況下才能進行測量，應當恒溫在20℃±1℃的范圍內，否則就有誤差。溫度不同時，所引起的誤差可用下列公式計算：

　　△L=L[αp(Tp-20)-αn(Tn-20)]

　　式中：△L為測件與基準件線膨脹系數(shù)不同且不同一溫度測量而引起的測量誤差。

　　αp和Tp為測件的線膨脹系數(shù)和溫度。

　　αn和Tn為基準件的線膨脹系數(shù)和溫度。

　　假如測件與基準件溫度相同，則公式可簡化成：

　　△L=L(αp-αn)(T-20)

　　也可以根據上述公式反過來確定工具顯微鏡測件應恒溫到什么程度。

　　5、測量需要的專用工具應事先準備好，如芯棒、量棒、刀口尺、平尺、墊鐵及各種扳手等。